ASML ve Zeiss, 5 nanometrelik desenler için Hyper NA yolunu çizdi
Hakemli teknik makale, mevcut EUV altyapısının büyük bölümünü koruyarak daha küçük devre desenleri basabilecek Hyper NA yaklaşımını anlatıyor. Ticari makine için yaklaşık on yıllık geliştirme süresi öngörülüyor.